【复合敏感栅MIS二极管气体传感器的研制】何秀丽.pdf

分类号:TN303 单位代码:10183 密级:内部研究生学号:9705016 硕士学位论文:复合敏感栅MIIS二极管气体传感器的研制作者姓名:何秀丽专业:材料物理与化学导师姓名戴国瑞教授及职称:李建平研究员吉林大学 2000年6月

目第一章前言.第一节气体传感器研究的意义第二节传统气体传感器第三节传感器阵列及“电子鼻”第四节 MIS二极管气体传感器第五节高温气体传感器第二章实验设备第一节制备敏感栅薄膜的设备及其原理第二节气敏特性测试系统第三章 MIS二极管的制备 14 第一节 MIS二极管的结构设计及优化第二节 MIS二极管制备的工艺过程第三节敏感栅薄膜的制备第四章MIS二极管气敏特性测试及其原理分析第一节方Pt-MIS二极管的气敏特性及响应机理第二节复合膜敏感栅MIS二极管 -.SnO2敏感栅MIS二极管的电流一-电压特性二.

吉林大学硕士学位论文研究、产品与包装相互作用、鱼肉新鲜度、果汁鲜度、过程控制、禽类的沙门氏菌探测等等都要应用到气体传感器。在其它方面,如大气监测、汽车尾气的快速实时测定、有毒气体的检测、特定火灾现场的气氛监测、安全检查(爆炸物和毒品)、航空航天、军事国防(生化武器防御)等等,也越来越显示出气体传感器的重要作用。近年来,随着人们生活水平的提高,人们对医疗保健更加关注,也就更加希望寻求一种无伤害、高准确度的检测手段,所以利用呼吸气体进行疾病的诊断,近年来已成为国际上的研究热点.总之,气体传感器在工业、家庭、医疗等市场上正迅速发展,前途无量。