【共面微波探针的设计理论与校准方法的研究】何炜瑜.pdf

吉林大学硕士研究生论文目第一章前言第二章应用保角变换法分析共面结构传输线 2有限地不对称共面波导传输线 2有限地对称共面波导传输线2无限地不对称共面波导传输线2无限地对称共面波导传输线 14 2应用互补概念分析非对称共面线ACPS 第三章共面结构传输线的特性阻抗和有效介电常数 3有限地不对称共面波导传输线的计算结果分析18 3非对称共面线ACPS的计算结果分析.第四章微波探针的校准4微波测量的误差模型 4常用的几种校准方法 31 4LRL校准方法的分析 33 结束语.

吉林大学硕士研究生论文点芯片的检测:共面微波探针通过共面波导传输微波信号,采用不同的传输线结构就可以制作出应用于不同集成电路与器件的微波探针。我们的MCS系列微波探针就是采用渐变共面波导传输线结构,使微波信号在良好的阻抗匹配状态下,在微波信号源、芯片压焊点、测试仪器之间输入输出,实现在片检测.目前,微波探针研究的关键的技术问题主要有两个方面:一个是微波探针传输线的设计,分析适用于不同待测器件压焊点排布的共面波导传输线,对于微波探针传输线的设计工作,意义重大.另一方面是微波探针的校准,这项技术的研究我们刚起步不久,却已经取得很大进展.微波探针通过共面波导传输线传输微波信号。

吉林大学硕士研究生论文准方法。这种方法只需-个高反射元件和两个传输线元件,这两种元件应用光刻技术能够做得很精确。并且不用考虑传输线的衰减问题以及非理想的反射元件的寄生特性,如Copen和Lshorr的确切数值。因此,对于微波探针的校准来说,LRL方法是最适用的.本论文就是针对微波探针传输线的设计及微波探针的校准这两个方面进行了研究。在准静态近似的条件下,首次用保角变换法分析了有限地不对称共面波导传输线,得到了特性阻抗及有效介电常数的解析表达式,并且同样的方法分析了有限地对称共面波导和无限地不对称共面波导,得到的结果分别与Veyres 和Kitazawa的结果一致,证明我们的