[稀土化合物浆料对CVD金刚石厚膜表面刻蚀及金刚石厚膜板图形金属化的研究]陈宏宇

【稀土化合物浆料对CVD金刚石厚膜表面刻蚀及金刚石厚膜板图形金属化的研究】陈宏宇.pdf吉林大学硕士学位论文 稀土化合物浆料对CVD金刚石厚膜表面刻蚀 及金刚石厚膜基板上图形金属化的研究 陈宏宇 导师:金曾孙教授 专业:凝聚态物理 2000年6月吉林大学硕士学位论文 目录 第一章绪论 S1CVD金刚石的合成方法、性质及应用简介 S2CVD金刚石的热学性能及应用概况.S3论文的选题和主要内容 第二章 稀土化合物浆料对CVD金刚石厚膜表面刻蚀的研 S1 引言.2 稀土化合物浆料的配制方法,.3 实验条件的确立,S4 实验装置及实验过程 .5 稀土化合物浆料对金刚石厚膜表面的刻蚀实验 .6 不同条件下稀土化合物浆料对CVD金刚石厚膜表面的 刻蚀.7 机械抛光对比实验S8 本章小结.吉林大学硕士学位论文 第一章绪论 S1CVD金刚石的合成方法、性质及应用简介 1CVD金刚石的合成方法 金刚石以其优异的物理和化学性质,在力学、热学、光 学、声学、微电子学等领域有着广泛的应用前景[1]。但是由 于天然金刚石的储量少,价格十分昂贵,而在50年代发展起 来的高温高压法合成的金刚石为粉末状,生长大颗粒金刚石 的成本很高,因此使金刚石的实际应用受到很大限制。八十 年代初,日本无机材料研究所采用热灯丝化学气相沉积(HFCVD)法,首次成功地合成出金刚石膜[21,从此在世 界范围内广泛地掀起了研究CVD金刚石的热潮。
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