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吉林大学硕士学位论文稀土化合物浆料对CVD金刚石厚膜表面刻蚀及金刚石厚膜基板上图形金属化的研究陈宏宇导师:金曾孙教授专业:凝聚态物理 2000年6月

吉林大学硕士学位论文目录第一章绪论 S1CVD金刚石的合成方法、性质及应用简介 S2CVD金刚石的热学性能及应用概况.S3论文的选题和主要内容第二章稀土化合物浆料对CVD金刚石厚膜表面刻蚀的研 S1 引言.2 稀土化合物浆料的配制方法,.3 实验条件的确立,S4 实验装置及实验过程 .5 稀土化合物浆料对金刚石厚膜表面的刻蚀实验 .6 不同条件下稀土化合物浆料对CVD金刚石厚膜表面的刻蚀.7 机械抛光对比实验S8 本章小结.

吉林大学硕士学位论文第一章绪论 S1CVD金刚石的合成方法、性质及应用简介 1CVD金刚石的合成方法金刚石以其优异的物理和化学性质,在力学、热学、光学、声学、微电子学等领域有着广泛的应用前景[1]。但是由于天然金刚石的储量少,价格十分昂贵,而在50年代发展起来的高温高压法合成的金刚石为粉末状,生长大颗粒金刚石的成本很高,因此使金刚石的实际应用受到很大限制。八十年代初,日本无机材料研究所采用热灯丝化学气相沉积(HFCVD)法,首次成功地合成出金刚石膜[21,从此在世界范围内广泛地掀起了研究CVD金刚石的热潮。