【电子探针图像采集与处理系统】李艳平.pdf
电子探针图像采集与处理系统 前言 随着计算机技术的发展,电子探针、扫描电镜等大型分析测试仪器不断向计算机化方向 迈进.1949年,在第一届欧洲电子显微学会议上,Castaing描述了他的电子探针X射线显微 分析仪,可对由样品发出的X射线进行一般的定性分析并使定量分析成为可能.1956年,Cosslett利Duncumb在英国剑桥大学:卡文迪许实验室设计和制造了第一台扫描 电子探针,从而实现了在电子探针仪器中能使电子束在样品表面进行二维面扫描。不仅能用 于定点定量分析,还能进行表面形貌特征和元素分布情况的观察和记录。
电子探针图像采集与处理系统 第一章绪论 1电子探针概述 电子探针是一种大型精密分析仪器它利用直径小于1um的电子束来激发样品,然后借助 相应的探测系统和信息处理系统收集和处理被激发微区产生的各种信息,如特征X射线、二 次电子、背散射电子、吸收电子等,用于研究微区的化学成分和形貌特征等。普遍应用于冶 金学、地质学、矿物学、地球化学、矿产资源的综合评价和利用、生物学、医学、考古学等 领域.1电子探针的组成 电子探针由电子光学系统、X射线谱仪(波长色散谱仪或能量色散谱仪)、光学观察系统、样品室、电子束扫描系统等部分组成.1.
电子探针图像采集与处理系统 对于原样品,1=0因此 I=Ih+In+la(1-6) 如果用l-表示背散射电子与二次电子之和,则 I=Ih+Ia(1-7) 即 Ia=I-Ib▪n(1-8) 因此吸收电子流和背散射电子流之间存在着互补关系。与背散射电子图像相类似,吸收电子 图像也能提供关于样品的平均原子序数和表面形貌等信息,只是图像上的明暗对比恰恰与背 散射电子图像相反.二次电子:当入射电子与样品中的原子相互作用时,入射电子与原子的核外电子(主要 是价电子)发生能量传递(一般为几至几十eV),如果核外电子所获得的能量大于其电离能,则该电子可脱离原子而成为自由电子,如果这些自由电子很靠近