【电子级过氧化氢制备的工艺研究】马敬环.pdf

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吉林大学*硕士学位论文*吉林大学 硕士研究生学位论文 电子级过氧化氢制备的工艺研究 STUDYONTHETECHNOLOGYOFPREPARATION OFELECTRONGRADE HYDROGENPREOXIDE 毕业专业:分析化学 导 师:姜桂兰教授 高维平教授 研究生:马敬环 答辨日期:二〇〇〇年十二月3原料执行标准技术指标产品规格产品执行标准产品技术指标实验用主要仪器及设备实验过程超纯水的制备电子级过氧化氢的制取 3树脂的预处理及再生 3分析过程分析执行标准分析方法.实验结果与讨论树脂的选型树脂的再生周期树脂的使用寿命透过时间和平衡时间 4透过曲线产品纯度自行分析结果4委托吉化研究院分析结果2000届硕土毕业论文 电子级过氧化氢制备的工艺研究 前言 1研究本课题的目的及意义 电子级过氧化氢(H0),又名双氧水,以其优异的质量性能广泛用于电 子工业领域,用电子级过氧化氢清洗、蚀刻的硅片、集成电路的绝缘层可达 到最优。目前,日本三菱瓦斯公司代表着国际先进水平,它拥有全球近70 的市场份额:我国在高精尖的电子领域使用的过氧化氢也主要是从该公司进口。国产的电子级过氧化氢无论从数量上(年产不足200吨)还是质量上与 国际水平比较,存在较大的差距,用户只能面对低品位的电子产品制造商。近几年,通过各种渠道进入我国市场的电子级过氧化氢每年都超过3000吨,现已达到5000吨。
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