【激光直写微位移控制系统】.pdf
浙江大学硕士论文 引言 本课题接受国家高技术863计划409主题的任务,开发研制用于制作 二元光学器件的仪器-极坐标激光直写系统(LDW)整个系统由～ 个上位机和光强控制部分、自动调焦部分、精密工作台、转台四个子系统 本课题所承担的任务是系统关键单元技术之一的直线位移工作台,主 要工作是使载有主物镜和自动调焦系统的工作台在光刻曝光时实现极坐标 的径向位移,位移范围决定能光刻掩膜的尺寸,掩膜上环线宽和间隔精度 由位移的定位精度决定.实现方法:步进电机带动齿轮经蜗轮蜗杆20:1减 速驱动精密丝杆,与之相联的精密滚珠导轨在电机驱动下能实现50mm的 位移,导轨与丝杆的联结处加人了压电陶瓷用于驱动
polarlaserdirect 浙江大学硕士论文 Abstract Thispaperintroducesa control systemof highprecise in stage As PLDWisused in fabrication ofBinaryOptical elements(BOEs)themicro-displacement has alot of advantages,such as large displacement range(±50mm)、high position fixingaccuracy(within 0um)
浙江大学硕士论文 4压电陶瓷逆压电变形的儿种变形模式 第五章光栅测长仪 系统的电学部分 6单片机系统设计步进电机驱动电路设计 6PZT驱动电路设计PZT的电学特性 6高压直流源设计.高压放大驱动源设计.光栅信号的电平转换 6GPIB并行接口.系统控制软件设计 系统控制方案 7软件设计 7初始化模块 7通信模块