【极坐标激光直写设备中锁相稳速伺服系统的设计】.pdf

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浙江大学硕士学位论文 引言 本课题接受国家高技术863计划的任务,开发研制用于制作二元 光学器件的仪器—极坐标激光直写系统(LDW)整个系统由一台上 位机和光强控制部分、自动调焦部分、精密工作台、精密稳速转台四 个子系统组成.本课题所承担的任务是系统关键单元技术之一的精密稳速、调速 转台工作台,主要工作是研制具有高稳速精度且能精密调速的转台,其意义在于:在激光刻划过程中,转台的稳速精度直接影响到刻划的 线宽误差和深度误差,为使二元光学器件有较好的性能,必须使转台 具有高的稳速精度.而精密调速是为了保证在不同的刻划半径下刻划 线宽一致。浙江大学硕士学位论文 ABSTRACT Aspeedservo controlsystcminpolarlaser direct writer(PLDw) is introduced in the dissertation.AsPLDwis usedin fabricationofbinary optical clements(BoEs),it requires that rotating workbench have the In this dissertation,it is described that the speed control source so that the rota浙江大学硕士学位论文 5单元电路的传递函数.系统的传递函数及稳定性分析5系统参数的选择与分析第六章结果与展望结果6展望.参考文献.致谢
支付成功后系统会自动返回 下载地址!有问题:cuwen@foxmail.com(截图)