【彩管黑底涂敷材料PAD的合成与应用】.pdf
一—双丙酮丙烯酰胺(简称DAA),浙江大学硕士论文 摘要 本论文较系统地概述和研究了彩管黑底涂敷光致抗蚀剂的性能及 光交联机理,同时以包含水溶性聚合物和光敏剂的各种体系光致抗蚀 它是在浓硫酸的作用下,由丙烯晴和丙酮反应制得,利用红外光谱法 对DAA的结构进行了分析,同时,用毛细管法对它的熔点进行测试.新开发出的光致抗蚀剂有很高的光敏性和互易律失效的特性,丙 烯酰胺(AM)与双丙酮丙烯酰胺(DAA)的共聚物是新光致抗蚀剂的主要 成膜物质。
浙江大学硕士论文 viscosityof DAA-AM copolymers containing fromto 50mol DAAbycapillaryviscositerwerediscovered that the intrinsic viscosityof copolymer in DAA contentfrom10to30mol wereincreasedinsaltsolut-Thecopolymersof DAA-AMpreparedby ourlaboratory were applied to the fabricationof blackmatrixCPT.
42-4357 浙江大学硕士论文 2AM与DAA投料摩尔比变化对特性粘度的影响2AM与DAA不同投料摩尔比所得共聚物的紫外光测试51 第四章、结果与讨论 二、PAD的合成条件对特性粘度的影响结果 2温度对特性粘度的影响结果 2引发剂用量对特性粘度的影响 三、涂屏工艺试验 3膜厚变化对BM膜质的影响.3显影条件对膜质的影响 3曝光条件对膜质的影响 2合成实验内容 2分析测试 三、工艺涂敷实验 3光刻胶的配制 3光刻胶的测试 3.