【颗粒硅生长的液态化技术研究-颗粒硅的生长规律特性研究】.pdf
硕士学位论文 颗粒硅的流态化技术研究 颗粒硅的生长规律特性研究 吴兴松 导师:王樟茂副教授 浙江大学 联合化学反应工程研究所 一九九六年一月二十五日
浙江大学硕士学位论文 Abstract Inthis thesis,anew type ofreactor-a80mm diameters spouted-fluidized-bedwasusedtoproducePolycrystalline siliconfrom the Experiments werecarriedout to studytheeffectofthepartial pressure of trichlorosilane,theinitial diameters of the silicon seeds onthe growth rate of the seeds.
IV.浙江大学硕士学位论文 3体系供热方式的选择 3本课题的特点 3设备材料的选择 3流化床材料的选择 3升温元件电热丝的选择 3测温元件的选择 3高温垫片的选择 3喷动流化床反应系统的设计 3物性数据 3喷动流化床操作参数的确定 3锥形分布板的设计 3喷动流化床的热量衡算 3氢气加热炉的设计 3炉体的设计 3电热丝功率的设计 3.