[硅烷CVD过程的色质联机高精度分析]

【硅烷CVD过程的色质联机高精度分析】.pdf浙江大学硕士学位论文 摘 要 本文评述了硅烷CVD技术的过去、现在和未来,说明了硅烷CVD 技术对开发新型电子材料与器件以及一系列高新功能材料的重要作用,指出了对硅烷CVD过程进行深入研究以及开发先进的硅烷CVD过程分 析手段的必要性.本文采用色质联机作为分析手段。它的优点不仅在于色谱仪高效 的分离能力和质谱计精确的鉴定本领,还在于巧妙的色谱一质谱联用技 术。但是,由于硅烷CVD过程的特点和复杂性,典型的色质联机不能 满足分析需要.本文开发了一种高灵敏度的、大信息量的、动态的数据采集和控 制系统,制作了数据采集和控制卡,该卡以两片8255A为核心,以软件 和硬件相结合的方式实现了对TE-浙江大学硕士学位论文 目录 Ⅱ 第一章引言 第二章硅烷CVD技术及研究进展 82-1硅烷在现代科技中的应用 S2-2新应用对硅烷CVD技术的挑战.S2-3硅烷CVD技术 S2-4硅烷CVD过程的基本研究 S2-5硅烷CVD反应的研究方法.S2-6立题依据 第三章气相色质联机系统原理 S3一1色质联机发展历史.S3-2气相色谱的基本原理 S3一3四极质谱仪基本原理.S3-4色谱质谱联机系统S3-5TE-360S色谱质谱联机系统第四章数据系统的硬件结构.开题报告 《硅烷CVD过程的色质联机高精度分析》 姓名:李红星 导师:姚奎鸿 专业:半导体材料 日期:1994
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