[硅液相外延研究]

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浙江大学硕士学位论文 前言 我们开展硅液相外延工作是从1993年下半年开始的,当时的 液相外延实验室是一间空房,可以说我们是从零开始。自进入课题研 究后,我们课题组从调试设备开始,逐步做-些针对性的实验,其中 设备不断出故障严重阻碍了我们的课题研究进度.液相外延本来就是一项艰难的研究,又加上硅的易氧化性而使得 硅液相外延工作困难更大。二年的探索表明,硅液相外延还有许多问 题需要人们深入研究,但硅液相外延同时具有的优良特性使得其前景 相当诱人,因此这项工作既艰辛又富有挑战性。浙江大学硕士学位论文 目录 第一章硅液相外延概述 1硅液相外延基本原理硅液相外延的应用.了实验目的第二章硅液相外延系统的选择与调试 2硅液相外延系统的选择2硅液相外延系统中温度场的分布及控制 2.了液相外延的特点第三章硅液相外延溶剂的选择 3纯金属为溶剂的硅液相外延生长.了合金为溶剂的硅液相外延生长.3.了小结第四章硅液相外延工艺流程第五章表面形貌 5残余熔体所引起的形貌特征.5外延前衬底的保护与形貌特征.5.了衬底的氧化与外延层形貌5.1996-X1612-394-3 第一部分硅液相外延的最新进展 第二部分硅液相外延的概述及研究方案