【激光扫瞄力显微镜数字伺服系统的研究】.pdf
浙江大学硕士学位研究生论文 目录 誉目 中文摘要 英文摘要 第一章绪论 S1-1扫描隧道显微镜及其局限性 S1-2扫描力显微镜 S1-3研究内容:第二章激光扫描力显微镜原理 S2-1引言 S2-2微探针 S2-3微振动的干涉测量:S2-4伺服反馈系统 第三章伺服反馈系统的分析与设计 S3-1引言 S3-2LFM控制系统分析 S3-3LFM数字控制器设计 第四章 LFM控制系统的硬件环境 S4-1引言 S4-2LFM的硬件环境 第五章 LFM系统辨识 S5-1引言 S5-2相关辨识法 S5-3LFM的相关辨识 第六章数据处理及结
浙江大学硕士学位研究生论文 ABSTRACT ABSTRACT A new kind of Atomic Force Microscope(AFM)—Laser Scanning Force Microscope(LFM)is presented in this paper.Like STM,AFM is a powerful tool in surface physics,which can provide resolution of atomic scale.
浙江大学硕士学位研究生论文 第一章绪论 微米.对于较厚的样品,要用高压电子显微镜来观察,但是其加速电 压高达到1000KV,结构更加复杂.扫描电子显微镜虽然可以直 接观察样品表面,但是其分辨率比透射电镜低10倍,不能达到原子尺 寸的分辨率.场发射显微镜和场离子显微镜只能探测半径小于100 纳米的针尖上的原子结构和二维几何性质,样品制作十分复杂,可用 来作为样品的研究对象十分有限.另外一些能谱仪只能提供空间平均 的电子结构信息和间接结果.这在一定程度上限制了电子显微镜和离 子显微镜应用的深度和广度.