[光谱椭偏术及在薄膜测试中的应用]

【光谱椭偏术及在薄膜测试中的应用】.pdf浙江大学硕士学位论文 目录目录 Abstract.摘要 Y 第一章前言光谱椭偏测试术概述 1本论文的主要工作 第二章光谱椭偏测试基本原理 2椭圆偏振测量术的基本原理椭圆偏振光的斯托克斯参量和邦加球表示两种各向同性媒质界面的反射光的椭偏参数单层薄膜的反射椭偏方程 2光谱椭偏测量薄膜原理增加椭偏测量参数约束条件的方法多层膜的椭偏分析各向异性薄膜的椭圆偏振效应,第三章变角度光谱椭偏测试系统 3光谱椭偏仪的基本类型.,3椭偏仪偏振调制法测量原理 3.浙江大学硕士学位论文 目录 第五章小结及进一步工作的建议 5本论文的工作小结 5光谱椭偏测量术的最新动态及进一步工作的建议,致谢 发表论文,参考文献浙江大学硕士学位论文 Abstract paper is effective for both single-layer and multilayer optical coatingsanalysis
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