【硅各向异性腐蚀技术的研究及应用】.pdf
浙江大学硕士学位论文 摘要 半导体微机械加工技术在工业、农业、生物医学、军事等社会生活的各个领 域发挥着日益重要的作用,利用它可以获得多种微结构,为实现一些微型系统提供 了条件,因此具有广阔的应用前景。但目前的工艺条件和结构设计水平在一定程 度上限制了它的迅速发展.本文的工作主要是研究了作为制取各种微机械结构的基础工艺一各向异性腐 蚀技术,解决了结构制作中硅膜厚度的精密控制问题,即硅腐蚀的自停止技术,并 将该技术推向了生产实用化,实现了一次自停止腐蚀多片硅。
浙江大学硕士学位论文 目 第一章绪论 S1硅微机械传感技术的发展 81课题的提出本论文研究领域的发展状况 1本论文的主要内容及结构 81本章小结.第二章硅各向异性化学腐蚀技术研究82硅各向异性化学腐蚀机理 82影响各向异性化学腐蚀的因素及实验研究.82硅各向异性腐蚀最佳条件82本章小结第三章硅p-n结四电极自停止腐蚀技术研究3硅p-n结自停止腐蚀的理论和方法83硅电化学腐蚀和钝化的机理3p-n结四电极自停止腐蚀系统.83本章小结
浙江大学硕士学位论文 第一章绪论 本章简介硅微机械传感技术的发展状况,及在工艺上存在的主要问题,以此为 基础,并综合前人所做的工作,提出了本课题,说明本论文的创新点和价值.81硅微机械传感技术的发展 微机械加工技术采用大规模集成电路工艺,从出现至今仅有二十多年的历史,已涉及到了微传感器、微执行器、微结构器件,乃至微型机械系统如微型机器人 等领域,(1近几年开始尝试用于微光学、微光电子学器件的制作。- 微机械具有几点特性:结构体积微小、进行的操作极其细微.