【电光检测法用於检测超薄层异质外延材料均匀性的研究】.pdf

浙江大学硕士学位论文摘要超薄层异质结外延材料作为高速电子迁移率晶体管材料是现代科技发展的需求,同时对这种器件生成质量的检测方法的要求也越来越高,连续波电光检测法(CWEOP)正是适合这种需求的无损伤、高精度的新颖有力的检测手段.连续波电光检测法的原理基于线性电光效应,所谓线性电光效应是指电介质(如超薄层异质结外延材料)中,其折射率的变化与外加电场的振幅成正比关系.CWEOP正是通过对介质表面的电场分布实现对超薄层异质结外延材料均匀性进行评估的。

浙江大学硕士学位论文目摘要.ABSTRACT 第一章绪论.第一节研究背景及其意义第二节超薄层异质结材料第三节超薄层异质结外延材料均匀性测试方法简述第四节连续波电光检测法第五节本论文的工作内容简介,第六节小结.第二章连续波电光检测法的基本原理与装置第一节线性电光效应.第二节连续波电光检测法的基本原理与装置第三节锁相放大技术的应用第四节小结第三章自动电光测试系统的研究第一节对自动测试系统的基本要求.第二节自动测试系统的框图.

浙江大学硕士学位论文第二节超薄层异质结材料 1978年,Dingle等人首次采用了调制掺杂技术于分子束外延生长的 AlGa-As/GaAs超晶格,获得了远高于寻常均匀掺杂情况的迁移率。这主要是由于GaAs-掺杂的Al.Ga-As的异质结构中,电子都汇集于异质界面的势阱中,造成电子和母体离子空间的分隔,从而使得离化杂质的散射大大减弱之故。汇集于势阱中的电子在垂直于界面方向受限制,其行为是量子化的。因此,这些电子构成一个二维电子气(2DEG)系统。这样的二维电子气系统的性质可以通过在低温下磁阻效应的测量加以证实(5]。