【多功能分辨率表面微观轮廓检测的研究】.pdf

浙江大学研究生硕士学位论文感谢卓永模教授的精心指导、使本课题得以顺利完成在实验和设计过程中,得到杨甬英老师的热心邦助以及徐敏老师的鼎力相助。

浙江大学研究生硕士学位论文摘要在高精度表面微观形貌的检测方面,测试仪器的功能合成化及超高分辩率正日益受到人们的重视.本文运用了结构设计上的新思路,设计了可用于平面、球面、柱面样品表面测量的扫描工作台以及位相调制机构,并通过计算机实行自动控制。同时开发出了实用化系统控制软件、实现了自动调相、工作点自动定位、扫描工作台控制系统和数据处理、与三维表面轮廓图像显示的功能.本文论述了突破衍射极限而提高分辨率的途径近场扫描光学显微术(NSOM)、对NSOM作了理论上的探讨。

浙江大学研究生硕士学位论文第一章前言与方案确定一、前言在许多应用领域、表面粗糙度及其微观结构变得越来越重要,为提高产品质量、性能的一个不可忽视的关键因素之一。在光学方面,我们需要低散射的透镜、反射镜、滤光片、光束分束器以及其它光学元件以减少散射光和改善诸如望远镜、显微镜、双筒望远镜、激光系统、光纤陀螺仪(gyrocopes)和许多其它的特定光学系统的工作性能.在显微电子学领域,随着超大规模集成电路的发展,集成电路的线宽和电路元件变得越来越小。越来越短,在硅片上加工波长量级的高密度微电路,这要求硅片表面必须具有相应的光洁度和波度。