【集成低流速气体流量传感器的研究与设计】.pdf

摘要本文主要研究低流速气体流速、流量测量间题。首先,综述并比较了已有的儿种小流量、低流速测量手段及其实现方案.接着,提出了一种采用流速产生温差原理的测量方法,并给出了基于上述原理的集成电路型流速传感器的线路图和版图设计.最后,采用分立元件对这种根据流速产生温差原理设计的流速传感器进行了实验模拟。测试结果表明:实验模拟与理论分析吻合较好。这种测量方法在小流量测量范围内具有很高的灵敏度。

目录量热式流速流量传感器研究概况绪论第三章热学原理分析第四章传感器的线路与版图设计第丘章模拟实验与测试第一章第二章第六章结语参考文献

式、活塞式、“罗茨式”即腰轮式等)、速度式(包括叶轮式、涡轮式)、差压式(即节流式)、靶式及转子式、涡街式流量计等等,因构件的机械运动或涡流产生需要,都要受到一定的测量下限(阈值)的限制,在低流速气体测量领域中难以发挥作用.而如电磁流量计和超声流量计则受限于其工作机理,通常只能用于液体流速流量的测量,其中电磁流量计则只能用在高电导液体相比较而言,采用热学原理构成的流速流量测量装置具有一些其它类型流量计所缺少的优点,如可直接得到反应质量流量的高精度电信号输出,压损小到可以不计,可适应从大到小各种不同口径的管道流量测量等。