【基於薄膜SAW敏感器件阵列及神经网络的气敏传感器系统】.pdf
目录 中文摘要 英文摘要 第一章绪论 1-1 第二章文献综述 2气敏传感器及其发展历史 2-1 2气敏传感器发展的进展及趋势 2-2 82本课题的提出及可行性研究 2-3 第三章系统优化设计思路及理论 3-1 第四章声表面波SAW器件优化设计及实现 84SAW的发展历史及其在传感器方面的应用 4-1 54SAW传感器理论分析及优化设计准则 4-2 84SAW器件的基本结构优化 4-11 第五章气敏传感器单元设计及实现 85面向目标的气敏传感器单元优化设计 6-1 86气敏传感器优化设计 5-2 85气敏材料及其敏感机理 5-6 6.
摘要 本课题在综合国内外传感器领域的大量的实验及研究基础上,首 次提出了以SAW气敏器件阵列与神经网络相结合为特色的气敏传感器系 统,可对混合气体(CO及NOx)的组分及浓度同时进行检测.本课题遵循面向目标的系统优化设计思路,在整体设计方面,探 讨了具有见余信息、交叉响应等特性的气敏器件的系统构造理论,并 以此为基础,指导气敏器件的设计及相匹配的神经网络的构造。在敏 感器件设计方面,进行了SAW器件的优化设计、敏感材料设计与选择,成膜五艺探讨及配合电路的优化设计等五作。SAW器件采用双延迟线差 动输出形式,以减小干扰.
浙江大学研究生学位论文用纸 Theoutputsignalsofthesensorsystemareprocessed withback -propagation(BP)neural network,which is further studiedin our work,andthree-layer andfour- layerneuralnetworks areconstructed.Theformer networkisconstructed to test the componentofthe mixedgasesandits concentrationaccordingtothe