[微振动振幅测试的研究]

【微振动振幅测试的研究】.pdf浙江大学研究生学位论文用纸P.摘要 年文论述了一种可以边到埃量彼灵敏度的 微振动干涉测量方法。为适应最近发展起来 的激光力星微技术的需要,我们采用干涉共模 抑制技术精确测量微振动振幅的变化。由 于采用非索共路干满机构,几平完全消踪,了由外界 环境干扰所引起的光程无规抖动。采用电子共模 抑制技术,消除了激光振幅噪声并在一定程度上 降纸了电子噪声的影响。利用峰值检测,降低了 对比D转换器的转换建度要求,并且只需一路干涉 信号就可满足测量要求.本系统结构简单、紧凑,操作方便,稳定性 好,不需住何复杂的隔振系统和恒温措施,就可快速自动地进行测量。则量范围可达191 纳术。浙江大学研究生学位论文用纸 P 目录 一.前言 二.方案选择 52,1 引言光学零差法光学外差法方案选择 三.干涉共模抑制测量微振动 33干涉共模抑制技术的概念与特点 32微振幻的干涉共摸抑制测量 四.光电转换及信号处理 341光电转换 342信号放大及滤液 好光电信号质量的,证 信号处理 峰值检测一得持电路 .45 546工作总的确是测量范围 五.微机接口35APPLE-I 微型计算抗概况 85.浙江大学研究生学位论文用纸 一、前言 随着科学和技术的飞速发展,表面粗糙度,尤 其是起精表面微观轮廓的精密测量,星得越来越 重要,引起人们的报大兴趣。在微电子工程抖学中,检测微电路图形及光电子薄膜器件的质量;在村 料工程科学中,检测原子量级的路体缺陷;在生物工 程抖学中,研究细胞分子结构及DNA等,都需要这种 超高分辨率的自动无损检测技术及设备。常规的测 量方法都因这样或那择的缺点不能满足实际需要.例如,以泰勒雪夫(Talysu)轮廓仪为代表的机 械触针式轮廓仪,虽然可以达到狡高的纵向分瓣 率(最高可达0./nm Yms [1]), 但其横向分辨率受触 针端面直径大小限制。
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