【二元光学理论及微透镜列阵CAD设计方法的初步研究】.pdf
硕士学位论文 目录 摘要 前言 第一章概论 第二章二元光学微透镜理论 第一节波动光学理论基础 第二节几种特殊结构的二元及其它衍射结构 16 第三节二元微透镜理论 第三章微透镜列阵的设计、角扫描性质及衍射计算机模拟39 第一节二元微透镜列阵的特点及应用,:第二节二元微透镜的设计 第三节二元微光学微透镜列阵(BOMA)的光束扫描原理43 第四节叠加积分衍射分析法 第五节衍射效率理论及计算方法 第六节关于衍膜的设计 第四章登加积分衍射分析第一节位相平衡法二元透镜的衍射分析.
硕士学位论文 ABSTRACT This dersertation briefly introduces the history、extance and optimisivefutureofBinaryOptics,have studied its basic theories,computer assistant devising method,and computer analysis ofsimulating diffraction,then combine them with mask devisivg into aCADsoftware ofBinaryOpticallens
硕士学位论文 模集成电路制造技术的成功经验,就象集成块的成本一样其制造成本 会大大降低,而且会低于现代的折射光学元件的成本。随着研究的加 深,传统的光学系统将被二元光学器件逐渐替代,传统的光学设计也 将改头换面。因此,二元光学被誉为九十年的光学.本课题主要研究二元光学器件的理论、二元光学器件的计算机产 生,计算机模拟衍射,并与掩膜设计合成一套CAD软件,分析了二元微 透镜的性质,主要是衍射效率、分辨率、二元器件的色差,并与 Dammann位相波带片作了比较。