【光敏树脂的光固化机理及其应用的研究】.pdf
浙江大学硕士论文 目 摘要 ABSTRACT 第一章概述 第一节光刻技术的历史及现状 第二节本论文的重点 第二章立体光刻技术中的光敏聚合物 第一节感光树脂概述 第二节光化学反应第三节光敏化合物 第四节AEPS光敏树脂 第五节氨基甲酸型丙烯酸树脂第六节立体光刻技术工艺参数的确定 第七节实际模型的制造 第三章立体光刻技术中的工作台 第一节光源装置 55 第二节导轨精度的测试与分析 第三节精密工作台测试 第四章立体光刻中的其它技术的设计设想 第一节立体光刻中的CAD技术 第二节立体光刻中的CAM技术 69
浙江大学硕士论文 摘要 本文闸述近五年发展起来的高新技术一一光固化立体光刻技术。着重研究立体光刻技术中的关键材料,即感光树脂的光固化性能 及其机理.文中对环氧聚硅氧烷丙烯酸酯(AEPS)及氨基甲酸型丙烯 酸树酯二种感光性树脂的理化性能、各种成份的感光机理、光固化 反应性能等进行了深入的理论分析和实验研究,从而得出了这二种 感光树脂在立体光刻技术中的工艺参数。并完成了模型制造。还对 立体光刻技术中的精密工作台的安装调试提出相应的简便测试方法。此法具有测试简单.对测试环境、测试仪器要求不高.测试精度 较高等优点。论文还对立体光刻技术中涉及到的相关技术提出了初 步设想和自已的见解。
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