【精密可控工作台系统的关键技术研究】.pdf

浙江大学硕士学位论文(摘要)要本论文探讨和研究了精密可控工作台的位移测量系统,计算机控制系统和微位移系统、实验中涉及到了光、机、电、算等多方面内容,针对传统的目视手动工作台,采用了近代发展起来的,很有前途的CCD光电器件,对光学刻尺进行判读、细分,实现了传统光学刻尺数字化,使具有0mm刻度值的标准刻尺达到了1微米的分辩率和2 微米的测量精度(不包含刻度值自身误差),并成功地用于精密可控工作台的位移实时测量,已初步实现仪器化,具有一定的实用价值系统中采用了MCS-51系列单片机8031系统对传统工作台进行实时控制,通过键盘和LED显示来设置工作台的位移量,并显示工作台的实

浙江大学硕士学位论文目录)录目 1-1本课题研究的重要意义 1-2国内外工作台发展概况 1-3本课题研究的内容和目标第二章实验总体方案 2-1基本测量方法的比较 2-2光学刻尺数字化第三章工作台位移测量系统 3-1CCD的基本工作原理 3-2位移动态测量原理与设计 3-3CCD输出信号的处理第四章系统软、硬件设计 4-1单片机控制系统设计 4-2系统软件设计第五章微位移工作台的研究 5-1概述

浙江大学硕士学位论文第一章在光学仪器方面,大量地采用了精密工作台,特别是在光学计量仪器中,其工作台的精度直接影响着系统总体的测量精度:随着微电子技术的发展,特别是微处理器在各种科学仪器上普遍使用,使工作台具有实时控制,动态测量成为了现实,同时也大大提高了工作台的精度。而许多传统的自视测量的手动工作台与现代科学技术的发展需要不相适应,这就要求工作台的位移测量系统加速数字化、驱动控制装置计算机化、数据处理智能化、为了达到上述目的,其最关键部分是测量系统的数字化,它作为计算机获取所控制的工作台位移信息的一个重要手段已引起了国内外有关部门研究。