【硅微机械谐振器】.pdf

浙江大学硕士论文摘要本论文对三种新结构微机械谐振器的理论,关键工艺进行了研究,在此基础上设计并制作了这三种器件．它们分别是静电激励与电致热激励全硅微机械谐振器以及Zn0/多晶硅体波复合谐振器.论文对静电力,电致热应力及硅梁对这两种驱动力的响应进行了研究,提出了提高硅梁响应的必要条件,研究结果还表明,在上述两种驱动力中都存在着二次谐波干扰项,并提出了抑制办法。在对静电激励的进一步分析中,发现了微机械结构中存在的另外一种阻尼机理一静电激励中驱动源内阻及引线电阻的存在将引起机械振动能的损耗、这些研究结果为器件设计提供了理论依据,并能较好地解释实验结果。

浙江大学硕士论文目录摘要第一章绪论一硅微机械技术二、微机械谐振传感器三、几个典型的硅微谐振传感器四、本论文的任务第二章各向异性腐蚀中的削角及补偿研究一各向异性腐蚀二、实验研究三、削角补偿的改进小结第三章静电驱动全硅微机械谐振器静电激励及硅梁响应分析二、一种新的阻尼机理三、器件的设计考虑四、静申式谐振器的制作五、测试结果及讨论小结第四章热激励谐振器理论分析热激励谐振器的设计考虑三、制作及测试结果与讨论小结.第五章 Zn0体波复合谐振器.

浙江大学硕士学位论文第一章绪论微机械技术从出现到现在已发展了近1/4个世纪,人们在微型机械、微动力机械、微结构传感器和包括微型机器人在内的微机械电子系统等的材料,制造工艺和相应力学等方面都取得了可喜成绩(1]。然而,到目前为止,微机械技术的最大成就莫过于在微结构传感器上取得的进展。用微机械技术制造的传感器具有体积小,精度高,测量范围宽,并且工艺上与材料上都可与集成电路兼容,因此容易制造出高度集成的所谓*灵巧传感器 2.,并且易于批量生产,成本低。