[自动调焦控制及相关技术研究]

【自动调焦控制及相关技术研究】.pdf浙江大学硕士学位论文 摘要 本论文介绍了激光微细光刻技术及系统,在光束聚焦理论基础 上提出了准直聚焦,小孔滤波的聚焦光学系统方案.本课题研制出了用电致伸缩器件驱动的采用柔性铰链的微位移 工作台,该系统无间隙、无机械磨擦、灵敏度高、重复性好、控制 简单.本课题对自动调焦控制系统作了深入的研究。该闭环控制系统 采用上述电致伸缩器件驱动的微动台为驱动机构,用离轴探测法检 测,以PID调节。该系统用计算机控制,用中断方式工作。编写了 控制系统中文菜单,可作闭环控制、开环控制、手动调节选择。该 系统的驱动机构避免了通常用音圈电机驱动带来的发热、电流控制 复杂、抗干扰能力差的缺点,在国内属首创。浙江大学硕士学位论文 目录 摘要 ABSTRACT 第一章绪论 第二章激光微细光刻 2-1概述.2-2几种新型光刻技术 2-3激光微细光刻系统 2-4激光微细光刻控制系统简介 2-5光刻胶技术 第三章光束的聚焦 3-1高斯光束的准直和聚焦-2光束的聚焦光学系统 第四章电致伸缩驱动的精密微动台研究 4-1压电陶瓷.4-2精密微动工作台.4-3电致伸缩驱动的弹性工作台 第五章自动调焦控制 5-1自动调焦方法介绍 5-2离轴探测法 6-3聚焦物镜的驱动机构.浙江大学硕士学位论文 二元器件的制造最主要的关键是掩模的制造,这就牵涉到激光 微细光刻。传统的远紫外曝光光源是汞灯、氙汞灯及重氢灯,近年 来,由于激光的明显优势,激光曝光光源越来越多,激光光刻成为 最有前途的光刻技术。到目前为止,曝光波长已进入到157nm(F2 激光器),加工线宽也提高到0μm,最细甚至可以到0μm(贝尔实验室83年研制的F激光光刻装置)。但高精度的微米、亚 微米的激光光刻,还存在着不少问题。还有,光刻目前尚无法突破 亚微米的极限,从而限制了二元器件精度的进一步提高。
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