【自动调焦控制及相关技术研究】.pdf

浙江大学硕士学位论文摘要本论文介绍了激光微细光刻技术及系统,在光束聚焦理论基础上提出了准直聚焦,小孔滤波的聚焦光学系统方案.本课题研制出了用电致伸缩器件驱动的采用柔性铰链的微位移工作台,该系统无间隙、无机械磨擦、灵敏度高、重复性好、控制简单.本课题对自动调焦控制系统作了深入的研究。该闭环控制系统采用上述电致伸缩器件驱动的微动台为驱动机构,用离轴探测法检测,以PID调节。该系统用计算机控制,用中断方式工作。编写了控制系统中文菜单,可作闭环控制、开环控制、手动调节选择。该系统的驱动机构避免了通常用音圈电机驱动带来的发热、电流控制复杂、抗干扰能力差的缺点,在国内属首创。

浙江大学硕士学位论文目录摘要 ABSTRACT 第一章绪论第二章激光微细光刻 2-1概述.2-2几种新型光刻技术 2-3激光微细光刻系统 2-4激光微细光刻控制系统简介 2-5光刻胶技术第三章光束的聚焦 3-1高斯光束的准直和聚焦-2光束的聚焦光学系统第四章电致伸缩驱动的精密微动台研究 4-1压电陶瓷.4-2精密微动工作台.4-3电致伸缩驱动的弹性工作台第五章自动调焦控制 5-1自动调焦方法介绍 5-2离轴探测法 6-3聚焦物镜的驱动机构.

浙江大学硕士学位论文二元器件的制造最主要的关键是掩模的制造,这就牵涉到激光微细光刻。传统的远紫外曝光光源是汞灯、氙汞灯及重氢灯,近年来,由于激光的明显优势,激光曝光光源越来越多,激光光刻成为最有前途的光刻技术。到目前为止,曝光波长已进入到157nm(F2 激光器),加工线宽也提高到0μm,最细甚至可以到0μm(贝尔实验室83年研制的F激光光刻装置)。但高精度的微米、亚微米的激光光刻,还存在着不少问题。还有,光刻目前尚无法突破亚微米的极限,从而限制了二元器件精度的进一步提高。