【硅在氢氟酸溶液中阳极氧化及其发致发光的研究】.pdf
浙大硕士论文硅在氢氟酸溶液中的阳极氧化及其光致发光的研究 目 致谢 摘要 前言 第一章 多孔硅研究的历史与进展 多孔硅研究的历史(1956一1990)多孔硅的发现 硅在氢氟酸溶液中阳极氧化的研究 多孔硅的形成及其规律 多孔硅的微结构 多孔硅的形成机制及其模型 多孔硅的成分分析 多孔硅的应用 二 多孔硅研究的重大突破(1990一)多孔硅发光的发现 关于多孔硅发光的机制及其争论 多孔硅的电致发光 第二章 发光多孔硅的制备及其发光膜的分离 实验装置与制备条件 多孔硅发光膜的分离 多晶硅阳极氧化后的光致发光 制备多孔硅的其它方法 第三章 多孔硅发光膜成分与结构的表征 引言 付立叶红外吸收谱(FTI
浙大硕士论文硅在氢氟酸溶液中阳极氧化及其光致发光的研究 致谢 本文是在我的两位尊敬的导师阙端麟教授和姚鸿年教 授的悉心指导下完成的。二年多来,两位先生在学术上给 我以教诲,在生活上给我以关心。他们孜孜以求和严谨踏 实的学者风范,宽容和和诲人不倦的人师风度,给了我 深深的影响。在我的求学生涯又告一段落之际,我向两位 先生致以崇高的敬意和诚挚的谢意.我要真诚地感谢给了我很多指导和帮助的陈立登副教 授和季振国副研究员。陈老师的工作为我的研究打下了很 好的基础,他丰富的工作经验给了我很多的启发。季老师 在两年多来与我进行了不知多少次的讨论,他敏锐的思维 和独特的见解给了我不少启示。
浙大硕士论文硅在氢氟酸溶液中阳极氧化及其光致发光的研究 摘要 本文首先研究了硅在氢氟酸水溶液中阳极氧化的电化 学行为,在电流一电势特性曲线(极化曲线)上存在三个不 同的极化区域,即:多孔形成区、过渡区和电解抛光区.其中多孔形成区中的电流与过电势成指数关系,电解抛光 区中的电流密度恒定,过渡区则处于两者之间。本文根据 一些实验现象,提出在多孔硅制备过程中会形成双层结构,即在表面存在不发光层,而在此下面的底层则可光致发光,X光电子谱表明它们的化学成份有所区别,实验发现用氢 氟酸或氢氧化钾溶液都可将表面不发光层腐蚀掉。