【新型压电角扫瞄器PZTA的理论及技术研究】.pdf
浙江大学博士学位论文 引言 本课题接受国家高技术863计划409主题的任务、为409主题制导冷光学系统中的 重点单元攻关技术项目,其目的是研制一种新型压电光学扫描器件一PZTA(Piezo electricTranslatorofAngle)要求该扫描器在100K(一173C)的低温下,完 PZTA扫描器的工作基础是PZT压电陶瓷材料的逆压电效应,它是利用压电器件 在工作电压下发生压电变形、带动扫描反射镜转动而形成扫描.要实现较大扫描幅 度的角扫描,关键是要能获得较大的逆压电变形.
linear testing various to I1 the of conclusion staticanddymatic-isdiscussed,some the testing analysisand 浙江大学博士学位论文 This paper presents anew type ofpiezo-electric optical scanner-PZTA(Piezo-electric Translator of Angle)
7录目 1本课题提出的背景 51光扫描在制导系统中的作用 1光学扫描形式概述 1PZTA扫描器的特点 S1PZTA的性能要求 51本论文所涉及的主要工作 第二章压电扫描基础 2压电材料的压电性 2PZT压电陶瓷逆压电变形的变形模式 82压电角扫描的方案 S2压电双晶片的变形分析 52压电双晶叠堆变形结构及其变形规律 第三章PZTA压电角扫描器的结构与性能分析 S3PZTA扫描器的结构- 3PZTA扫描器的静态特性 3.