【真空直拉硅单晶中的碳含量与分凝效应】.pdf

双46 a9i.实验验让和关于隔离石星批的依用:44 浙江大学研究生毕业论文用纸录三.直拉硅单晶中碳引入的研究:的实验结果的讨论; 沁其色几了结果的讨论; 目(一)J.A.Baker的2作; =)F.Schmid的工依; 三)YEnd甘人的工作; 四国内的研完工作.四实验和讨论:一)一般分析; 一实验工作结果; 的分析书讨论.i.理论; V》结语.五.

浙江大学研究生毕业论文用纸半子体硅单晶是目前电子工生中应用最广、用易最大的一种书寻体基碰材料。现在,硅单晶大地被用來作大规模集成电路和功本四件。近几年來,用硅來依太阳能电池以开拓新的能流的己依也的到了老思各國的极大注意。硅单晶又是一种作校幅射操四的半寻体材料。硅在各方面的了泛应用,大地促进实你应用中的硅单晶,由于立用的四的不同,免的制备方式也是各不相同的。不过,应用男最大的是柔用直拉技求生長的硅单晶。因而对这种直拉硅单晶的性能、别备之艺寸的研亮工依一直是碎材料技术研亮中的一了重要破,已被发现是直拉硅单晶中对材抖性质和四件质是有极其声重影响的一种重要杂质。

浙江大学研究生毕业论文用纸在五十伞代,硅晶体管刚夕发明,初被应用,人份研完的是晶体中位错,电活性杂质寸向题。六十年代主要研充硅中的金杂,氧碳杂和住错的关,至提亡了微缺陷的概念.面方十年代末和七十年代,隨着大规模集成电路的研别和发展以及大直经硅单晶的别成功,硅单晶的均匀性向题受到了更大的重視。村抖和四件笑子的研宽的到了进一步的发展.現在硅四件量在不断提了,硅单晶应用更加广泛,尤其是成电路朝着超大规模,起方速,起精细加工方向发展,仗的对硅单晶的量概念在不断地抄大,要求也在不断地提方。