[掺杂氧化物薄膜的特性测试及研究]

【掺杂氧化物薄膜的特性测试及研究】.pdf浙江大学研究生学位论文用纸 P.I Abstract In this paper,a cats-eye interferometer that measures both the magnitude andsignoftheintrinsic stress in a thin film coating during deposition is introduced.This type of interferometer is found to be insensitive to vibration and thermal distortion.浙江大学研究生学位论文用纸 P.目录 第-章前言 第二章薄膜内应力的测试 2-1应力测量理 2-2干涉仪的构造 2-3薄膜内应力计放公式的推寻 -14 2-4影响应力测量的诸因素 -19 2-5 应力测量结果 第三章薄膜光学特性的测试 3-1薄膜消光系数的测定 3-2相对散射率的测量 了-3聚集密度及折射率的确定 3-4测试结果 第四章rO:YO掺杂薄膜持性的正交试验 -.浙江大学研究生学位论文用纸 P.第-章前言 随着薄膜在光学仪器、激光、能等各方面 应用的日益扩大,对薄膜的光学、机性能的要 求也越来越高。例如激光核聚变系统对光学薄膜 的要求为:减反射膜在1,0、0μm处的 反射率均小于5 ,高反射膜在这三个波长上的 反射率都大于99,在整个镀膜表而有均匀一致 的射及射特性。薄膜的放定性要如,能承受严 醒的使用环境。有高的抗激光破坏阔作等。要 获得如此高负量的光学障膜,对于薄膜材粹,蒸 发工艺等都提出了很高的要求。
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