【薄膜光学常数的测量】.pdf

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浙江大学研究生学位论文用纸 P Abstract The surface plasma waves(spw) resonance and ellipsometric parameters are sensitive functions of the optical constants of metallic films.Thus,the opticalconstantsof metallic films couldbe deter-mined preciselybyusingthe SPw technique ard ellipsometry.浙江大学研究生学位论文用纸 P Abstract The surface plasma waves(sPw) resonance and ellipsometric parameters are sensitive functionsof theopticalconstants ofmetallic films.Thns,the optical constants of metallic films could be deter-mined preciselybyusingtheSPwtechniqueand ellipsometr了.浙江大学研究生学位论文用纸 P.I 摘要 表面电磁报荡激元波(SPW)谐振和椭偏参数都是金身膜 光学常数的灵敏函数。因而利用 SPW投术和椭偏分析可以 精确地测定金居膜的光学常数。但是,如果仅使用上述的 投术的任意一个,常常会出现多值解的问题。本文利用经典 的电础的理花讨论了SPW报求的激发机理和SPW及输偏琴 数的理化计称。介绍了一种将SPW投求承偏分析相结合 唯一确定金房嫉光学常数的分左。文中还介绍了用于实验的 计称机控制的自动椭和光度测试装置,给出了实验 装量的没计.判作和达到的性能。最后在该装置上测量 J 金民模 Au,Ag.