【北京化学试剂研究所学位论文关於AsCl3除碳的初步探讨】北京化学试剂研究所.pdf

摘要酸是Ⅱ-V族半导体材料Ga众的有管杂质,主要本文从热力学角度探过了AsC经商温理或者在缆气气氯中灼烧除硬的可能性。提出了As以除碳的工气设想。从理论和实验用方面对读工艺放想中的第一步,即As每什华灼烧除假的间购贷行了储究.当4s0中合蛋量为11-72附时,在商沌氧气气流中,经1160C特华均路三次,可以除去 q0.97 的破东质,仅A0中信会假量位至2FF 左有。

氮代经在氧气气氛中的行为四、关于 As0s 除酸的研究 32.As0,中的碳杂质 4.As0;在氧气中行华灼烧除磺的热力学基础 As0在氧气中的行为磺杂质任氧气中的行为 43.实验装置,氧气的承化 As0,的什年均熔 44.分析方法仪费.法、装五试痫与港汉(3》余析步研 45实验维票具药您(3>最佳工气五、结论.

导不多.本文从热力学負度探讨了从AsCh;中除掉微量職杂的可能性操了AsC除碳的工艺设想,重吴研究了该工艺设想中的第一步,即原料AsO除碳的问题。目的是希望进一步提高AsC 的质量.二、除碳的途径 2.碳杂质的素源碳是自然界余有最广的亢素之一。从无机赖到有机彻,直至生命个体,都有它存在的形戎.商给无机材料中破系质的素源有:的主要察源,大气中碾象原对育纯材料的活染。我们知道,在术爱通设碳恭质的含量更商”,见表2-2.表2-1.赤爱男的大气中做费质杂质名称合量(PPri) CHA 1.1 CO CO 0.