【数字图像处理在光刻自动对准技术中的应用】.pdf
浙江大学研究生学位论文用纸 P 目录 摘要 一E 言 对准技术的现状和分析 二 三,电视扫描自动对准长理 3-1.基本工作反理 3-2敏字图家采集方法 3-3图家信点传威四 3一4关分辨力 目.预处理电路及微机接口五.宇图象处理 5-1.平滑处理 5-2.边缘位置估计 5-3.边缘相关点范围 5-4.定边缘位置 六.软件编制 6-1.对准过程 6 -2.
浙江大学研究生学位论文用纸 P 摘 萧 光刻技术是用于生产大规模集成电路的必要手段,而 对准则是光刻过程中的关键问题之一。虽然现已有多种形 式的对准方法,但基本都存在技术难度大、对四件要求高等 困难。故寻找一种简便、易行、有效的自动对准方法应是发 展我国头刻基本技本的要未之一。本此目的,作者选此作为硕 士生的课题,提出一种利用字图象处理民理的电视扫 描间轴对准系统,制作了相应的实验装置并提供了实验 据。虽然此方法是为DSW投影光刻机而设计的,其工作民理 也同样适用于其他类型的光刻机。
浙江大学研究生学位论文用纸 P onedirectionandcalculatesdeviationbetweenwafer andmaskintwodirection.Anintegratorisusedtointe- grate the analogy signal.Through sample/hold and A/D, the output is sent to microprocessor for processing.Bymeansofmethodsofdigitalimageprocessing,the microprocessorcalculatesthedeviafio