【制备乙硅烷的实验和探讨】.pdf
浙江大学研究生学位论文用纸 P 摘 要 本文洋细计论了各种可能的和已经采用的制 备乙硅烧的方法,比较了它们的优方。在此基础 上,提出了一种析的低成本的制备方传,即通过 碰化镁和氣化钟在澈氨中的反应制备乙硅烷。我 似在一套甲硅烧工世生产子统上进行了实玲。声 生的甲硅烷和乙硅烷的混和物用冷凝法分离,其 温度是根据最佳乙硅烷收幸和么使甲硅烷被冷凝 出来的原则确定的。这样得到的粗乙硅烷气中,主要的杂贡是氢,甲硅,和一今乙明成份。在 评价了各种提纯方法以后,我们用改进的低温分 法有效地去除了这些杂质,得到的乙硅烷的纯 疲好于98。我们远测定了乙硅烷在低温下的饱 和蓝气出。
浙江大学研究生学位论文用纸 P.Ⅲ AiRACT heorhavehcen bned fopreparinoBi2ll,cor.parethen in details.Then,wepronosed anev,locost nethodof preparationbythe renctionLetweenle2siandill4cl in liquidiil3.The experii:entwas caried out onan industrial SystempreparinrSil4.
浙江大学研究生学位论文用纸 P.V 目录 一.引言 1乙硅烷的基本性质 1乙硅烷的物理化学常故 1乙硅烷分子的基本性质 1乙硅烧的稳定性 1乙硅烷的各种谱图 1乙硅烷制备非晶硅薄膜的研究 1乙硅烷沉和非晶硅的各种才法 2乙硅烷非晶膜的性能 1.了乙硅烷非晶膜的沉积机理 1乙硅烷非晶器体 1乙硅烷的其它用途 二硅烷的制备 2甲硅烷转化法 2卤代乙硅烷还法 2.了硅氢直接仅法 2.全属硅化物水解法 2各种己硅烷发生方去的比较 2.