【透镜後偏转系统的计算与分析】.pdf
浙江大学研究生学位论文用纸 P.i Abstract In this paper,we have mainly computed and analyzed the optical properties of post-lens deflection systems.It intends to get a improved post-lens deflection syst-em.Wefirst develop the BoundaryBlement Method for lenses and mrgnetic deflection yokes.
浙江大学研究生学位论文用纸 P.ii 目录 一.引言 11电子束曝光机的偏转系统发 尸简况 1问题的提出 1砾透镜、偏转复合系统计算 方法的历史回顾 1本文概述 二.硚场计标 2概述 2积分方驻的建立 23闭合电流元在自由空间任意 关的磷标位 2研透镜线包所产生的殊标位 表达式 2研偏转线包所产生的碰标位 表达式2碰荷产生的研标位表达式27透镜场中的织分方狂2偏转场中的织分方住2尔分方住的求解
浙江大学研究生学位论文用纸 P 一、引 11电子束曝光机的偏转系统发己简况 随着大规模集成电路的发尸,四件趋 向于微型化,最小元件的线宽从5μm到2 μmm再到1μm,以后再进入lo∞oA,如此 这样,对电子束曝光机的偏转系统提出了 越来越高的要求,至今人们已设计出各种 形式的偏转系统.最早,有些电子束曝光 机的最后一级透镜及偏转系 统采用传统的透镜前偏转,如图(1一1),但是,这种系统 当电子束进入第二级偏转时 离轴较远,因此偏转象差比 图(1-1)透镜前偏转系统 较大,同理透镜象差也很大。