[透镜后偏转系统的计算与分析]

【透镜後偏转系统的计算与分析】.pdf浙江大学研究生学位论文用纸 P.i Abstract In this paper,we have mainly computed and analyzed the optical properties of post-lens deflection systems.It intends to get a improved post-lens deflection syst-em.Wefirst develop the BoundaryBlement Method for lenses and mrgnetic deflection yokes.浙江大学研究生学位论文用纸 P.ii 目录 一.引言 11电子束曝光机的偏转系统发 尸简况 1问题的提出 1砾透镜、偏转复合系统计算 方法的历史回顾 1本文概述 二.硚场计标 2概述 2积分方驻的建立 23闭合电流元在自由空间任意 关的磷标位 2研透镜线包所产生的殊标位 表达式 2研偏转线包所产生的碰标位 表达式2碰荷产生的研标位表达式27透镜场中的织分方狂2偏转场中的织分方住2尔分方住的求解浙江大学研究生学位论文用纸 P 一、引 11电子束曝光机的偏转系统发己简况 随着大规模集成电路的发尸,四件趋 向于微型化,最小元件的线宽从5μm到2 μmm再到1μm,以后再进入lo∞oA,如此 这样,对电子束曝光机的偏转系统提出了 越来越高的要求,至今人们已设计出各种 形式的偏转系统.最早,有些电子束曝光 机的最后一级透镜及偏转系 统采用传统的透镜前偏转,如图(1一1),但是,这种系统 当电子束进入第二级偏转时 离轴较远,因此偏转象差比 图(1-1)透镜前偏转系统 较大,同理透镜象差也很大。
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