【一维半导体光电位置敏感器件及其应用研究】.pdf
浙江大学研究生学位论文用纸P 摘要 建立在半导体横向光电效应上的半寻体光电 位置敏感器件是一种新近发展的光敬器件。本文 从理比及其实验上分析了应用此一维PSD时,外加 参(反偏、负栽、信号光)对其性能的影响及 其大小的选择,环境因素(背景光、温度)对其 性能的影响,以及器件本身一些参的选择,这 些分析结果对有效地应用一维PSD是很重要的。然 后应用此一组P阳设汁了反射式位移传感器,此传 感器只有非接触测、响应速度技高及其应用范 围广等一些优点。最后根据需要,设汁了与其对 应的一维信号测号处理仪,它与所做的反射式 位移传感器模型装置组成了一兒查的非接触式位 10um。
浙江大学研究生学位论文用纸 P.i 目录 第一章 咖 s1-1 PSD工作后理:结构及其特点简介 S1-2 国外PSDB其应用发展状况 §1-3 国内PD发展状况 1-4 本课题所研究的内容 第二章 PD横向光电效应及其偏微分方程 推导 第三章 一维PD的一些特性理改和实验分析 S3-1 理论关系式的求解和分析 3-2 反偏与一维PSD静动态特性间的关系 3-3 负载电阻R与一维PSD横向光电效应间的关系 63-4 信号光与一维PSD特性间的关系 3-5 环境因素对一维S输出特性的影响 9-E S 结论 第回章 应用一维PSD测试物体位移的传感 器辰理结构设计 4-1 接触式位移传感器没汁
浙江大学研究生学位论文用纸P．1 第一章导言 S一IPSD工作原理、结构及其特点简介 半导体光电位置敏感器件(Positon-Sensitive Detector, 简称PSD)是一种对其感光面上入射光点位置敏感 的半导体光电器件,也即当光点在器件感光面的 不同位置时,将对应有一不同的输出电信号,通 过处理此输出电信号,就可确定入射光点的位置.PSD的工作原理见图一所示,其中截面图是一 电极A 电极B 依面电阳眼 公共电极 公共电极(a)截面图(b)等效电路图 图I-IPSD工作原理简图 PIN型的PSD。