[激光化学气相沉积无定形硅]

【激光化学气相沉积无定形硅】.pdf浙江大学研究生学位论文用纸 P.I 录 摘雯(ABSTRACT) Ⅲ、IV.第一章概论 P 1一1化条乏相和概况 P 一子激光化学相次积 P 了子无李形建材料的研究 P 1一4无含形作为太向能感他料料的优卖 P 第:率基础理论 P 化反 P 2子为5光 P 了了子 P -4热传理论 P 第三玲方事是择及装置予统汁 P 了-1实玲方的选择 P 实玲裝多统汁 P 第因章特令玲条件下的积理论 P 54一1老加热了解型 P.浙江大学研究生学位论文用纸P.Ⅲ 摘 建之了老化学乏相次和的实玲装置系统,用候 实验装予统才地行了实張,证會了念装柔 统的汁方行的。低基片下(4∞℃以下) 微崩吸璃上次和了无令影转凄膀,得到年的次积 违要为1心成的级。用激老喇零老清仪则令了所 和的确实老令形,用了析电子里微鏡(AEM) 析了次积腰的责及形貌;用多氏子冷仪则星了 程进行了理论了析,得到了令形砖和要 计算得到的乏伟蜂值交寻成纬,求得化学有 化能为45Kcal/m1,假的沉和要受限步为 乏相热了的的理论楼到与实玲传果相待合。浙江大学研究生学位论文用纸P./第一章概 1-1 化学乏相次积概况 現代科茶技不需零仅用大功能吝弃的新材 精料,它些2万能材料你须是高纯的,或飞齐纯的 我们世走可熟悉的许多制备材料的新方传,如高 温熔,水底中积和结晶等往了难以满足这 些蒙求,也难以保江得到亮结爱的声品。而目,它些务传也只能制多有限的材料。因此,新材 化相沉和近一.十年展起柔的制 用子搜经物质,研制新晶体,限积多种单品、多 晶老今形老机薄腰材料。这些料料了以专事 化物,化约,氣化物,化物,也又以一V,II,NW族中的球多的之亲间化合物,精确控制.因除上,浸舒球的研余作十了活跃,每多发 表文章了数尽篇。
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