【电子束曝光机阴极发射特性的研究】.pdf
浙江大学研究生学位论文用纸 P.I 录 摘要第一章 绪论 11,本工作的意义 1-2.LaB6阴极的特点及发展概况 第二章电子枪亮度的測量 sx-1.亮度测量原理2-2.测量亮度的两种方法:x-3.理论亮度利实际测量亮度62-4.电子枪电度的实际,测量52-5.结果分析第三章.电子末电流密度分布的 洲量3-1.引言,S3-2.测试原理3-3.两种测试方法的比较33-4.几种不同刀边的比较3-5.测试结果及分析S3-6.
浙江大学研究生学位论文用纸P.Abstract Thisthesispresentssonemethodesofmeasuringthe brightness,the beamdiameter and theenergyspread ofacathode.Asetofmeasuringdeviceshavebeen desigmedandfabricated.Thebrightnessandthebeam diameterofWhairpincathodeandLaB6pointcathode have beenmeasured on TSM-I ScanningElectronMicro-
浙江大学研究生学位论文用纸P．1 摘要 本文在总结前人工作的基础上,利用 国产的TSM-I型扫描电子显微镜,对发又 式钩阴极和国外正在研完和推广的云硼 化(单晶和多晶)阴极进行了亮度,束斑直 径的量。设计并制作了测量能散度的装 置。在隶斑直径的测量过程中,经比,得出利用砷化碳的白然解理召,是获得平 直刀边的理想方法这一结论;并利用TP如 单板机采集和处理败据。经实测,云硼 化点状阴极的亮度为相同条件下发叉 式鹤阴极的电度的十浩左右;而单晶云 硼化的亮度优于多晶云硼化。点状 六硼化阴极的交又斑直经和束独直径 均长鹤阴的小。