【磷化镓绿色发光材料的液相外延技术和材料特性研究】.pdf

浙江大学研究生学位论文用纸P.立致谢本文是在我的导师丁祖昌教授的悉心关怀和指导下完成,首先在此表示我表心的感谢。此外,物理系固体教研组的华伟民老师、王薇同志在求人的突验和测试中,给予了巨大的帮助,并作了降多有益的讨论,在此,一并致子深深的谢意。

浙江大学研究生学位论文用纸 P.ii sx系统结构-52系统组成控制结构 32计算机辅助控制温度 29 -32主炉均与温度场的建立 32掺杂源温度坪区的建立 -2计算机辅助控制气体流量32计算机软件设计-32:5 语言的选择软件的设计 32系统的安装Ⅲ.外延系统的试运转及初步结果 §3外延准备外延结果亮度.-表面形貌卫.外延片的测试及结果分析 -52S4.

浙江大学研究生学位论文用纸P./摘要本文首先针对GaP发光树料特性,提出了对液相外延技术的要求,并没计和建立了一套用子生长 GaP材料的液相外延系统。整个系统用IBM-PC汁算机辅助控制:温度场的建主柔用五点五般式控制方式,突现了符合特定要求的生长.掺杂双温区; 气体流量柔用质量流量控制器凋节;并且建之3灵活.实用的计算、控制测量软件库。莫次.本文介诏了利用此液相外延系统进行外延试验的情况和所得到的一挑有意义的结果,并且对外延试验中出现的一些问题(如反型层,丧面形貌等)进行了研究,提出了解决方法。