[磷化镓绿色发光材料的液相外延技术和材料特性研究]

【磷化镓绿色发光材料的液相外延技术和材料特性研究】.pdf浙江大学研究生学位论文用纸P.立 致 谢 本文是在我的导师丁祖昌教授 的悉心关怀和指导下完成,首先在 此表示我表心的感谢。此外,物理 系固体教研组的华伟民老师、王薇 同志在求人的突验和测试中,给予 了巨大的帮助,并作了降多有益的 讨论,在此,一并致子深深的谢意。浙江大学研究生学位论文用纸 P.ii sx系统结构-52系统组成控制结构 32计算机辅助控制温度 29 -32主炉均与温度场的建立 32掺杂源温度坪区的建立 -2计算机辅助控制气体流量32计算机软件设计-32:5 语言的选择软件的设计 32系统的安装Ⅲ.外延系统的试运转及初步结果 §3外延准备外延结果亮度.-表面形貌 卫.外延片的测试及结果分析 -52S4.浙江大学研究生学位论文用纸P./摘要 本文首先针对GaP发光树料特性,提出了对液 相外延技术的要求,并没计和建立了一套用子生长 GaP材料的液相外延系统。整个系统用IBM-PC汁 算机辅助控制:温度场的建主柔用五点五般式控 制方式,突现了符合特定要求的生长.掺杂双温区; 气体流量柔用质量流量控制器凋节;并且建之3灵 活.实用的计算、控制测量软件库。莫次.本文介诏 了利用此液相外延系统进行外延试验的情况和所 得到的一挑有意义的结果,并且对外延试验中出现 的一些问题(如反型层,丧面形貌等)进行了研究,提出了解决方法。
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