【硅单晶中热施主的形成】.pdf

P.工浙江大学研究生学位论文用纸 ABSTRACT In this thesis,the research work of Thermal-Oxygen Donorare reviewed,the differentmodels and kineticses of Thermal-Oxygen Donor formationare comparedand discussedindetails,and theeffectsof Oxygenconcentrationandtemperatureofheattreat-menton theformationofThermal-OxygenDo

浙江大学研究生学位论文用纸P.Ⅲ 摘要本文综达了热施主研究的主要工作; 详细地比较和讨论了各种热施主模型和形成动力学;分析了氧含量、热处理温度对硅单晶中热施主形成的影响。在此基础上提出了硅单晶从650℃到室温这一令却过程用热平衡法建立了求解非定常传热系数和热容的无限長圆柱体的热传导才程.通过分析在硅单晶棒表面的对流换热尔数和辐財换热系数,教值模拟了随单品棒表面温度而变化的冷却边界条件。用差分法对硅单晶棒从650℃到室温这个令却过程进行了数值计标。利用提出的冷却过程中热施主形成的近似数值计算方法计标了硅单晶棒在冷却过程中形成的热主浓度及径向分布。

2-21浙江大学研究生学位论文用纸P.V 目录(三)硅单晶中热施主的形成与消除(一)非常数物性参数无限長圆体(二)冷却边界条件a=a(t,t,u)(一)热施主形成的模型(二)热施主形成动力学(三)热施主产生的计算(四)计算过程的分析(国)计算用的源程序实验装置、实验材料(一)硅单晶的冷却过程二.理论分析的传热的确定三.实验验证(三)实验过程(三)结果讨论四.结果与讨论一.