【薄膜沉积速率的自动控制】.pdf

浙江大学研究生学位论文用纸P.i 摘要由于薄膜的特性对制作 2 艺参数有着+分强烈的依赖关条,因此,稳定工艺因素极其重要。车文介绍了用石英品体但动控制薄膜淀积速幸的原理和方法,分析了常规测号品振频中方法的分上辛和秘定性,提出了新颖的不英留振频争测号技术,建立了蒸发系统的数存模型,并成功地研制了一台石英品阵速中厚度控制仪量,其速平控制精度为士10 ,接近国际上同类产品的水平。车文还讨论了影响系统精度的原因,并提出了改进的措施。此外,幸课题还宪成了一台波长分,辛优于4名的高分,辛机械式何动为描光谱仪的研制。

浙江大学研究生学位论文用纸 P.iii 目录前言第一章高精度白动扫描光谱仪 §1 确定方案 g1 TP-801单板机简介 §1 系统工作原理及构成 1 波长定位和分幸软件简个 2/车装置的功能实验结果与误差分析 1 第二章薄膜淀积远平的自动控制 2 利用石英晶华监控薄膜淀积速车 2 测男频平的方案 §2 硬件部分 2 蒸发系统数学模型如控制方法多 2 软件部分 6s 2.

浙江大学研究生学位论文用纸P．2 这些工艺参数不能得到很好控别,那么薄膜的性能也是不能重复的,这就不难理解,一直以来光学多层膜的划作凭藉薄膜工你者的经验和技术,有时还要碰运气。在这样的情况下,与其说这是一门科学,不如说更多地是一种艺,过的里不能适应光学薄膜工业化批量生产的需要。因此自七十年代末开始,国外对于薄膜工艺参数的影响,工艺参数的控划和薄膜淀积过积的自动化给了了极大的关注,和薄膜材蚪,离子来辅助淀积技术的研完一起成为八十年代以来光学薄映技术研完的前沿课题。