【溅射薄膜压力传感器研究】.pdf
浙江大学研究生学位论文用纸 P 浙
浙江大学研究生学位论文用纸P 搁 要 本文闻述了研制的以合金激膜作为敏感电阻的压力传感器,以及这种 传质:器的敏感原班和工艺技术.溅射游膜压力传感器的研究,国外在七十年代已引起注意,国内在近 几年才升始运方面的研究工作。本谋题中采用的薄膜材料,具有电阻率大,温质系数小,制作方便,线胀系数小,并与弹性膜片接近等特点.文中提出了传感器工艺实现方案和传感器结构设计方案,根据平片 厚度、半径与传感器料度(线性质)和量程间的关系,编写和调试了压力 平片系列化设计私序,详细分析了真空溅射锻膜工艺和光刻工艺各参数 对薄膜质量(例如膜厚均匀性、致密性、敏感电阻栅尺寸准殖性以及陆值 稳定性等)的影响,
浙江大学研究生学位论文用纸P -recision(linearity)and range,and the inrluences -logical parameters on the thin-rilms qualities,su -ch as evenness,compactness,size precision of sen -sitive resistor and sensitive resistor steadiness, are analyzed detailedly.