【双波长数字波面干涉术的研究】.pdf
浙江大学研究生学位论文用纸P.I 摘要 在高精度的召形检测方白,与提方测墨精度和测 星违度一样重要的另一需求—扩大测墨范围,正日 益受到人们的重视.本文结合双液谷技术和单波长付里叶位相同发 检技术,实现了对不规则程度较大的波石的检,在不坏加采样密度和计机存贮容是的条作下,扩展 了表已石形的检测苍围.干涉系统的主待是SPG-I激数字波了午涉仪,用摄象机获反于涉周,压电品体推动参孜钱分步移动,实现位相的时何调别.本文讨论了双压发同肯捡技术孕理及其相位计我 扩去,分折了双波长内当检浏的主要族差因事及特是的 影响形式。利用的法消除了压电强传线性步幅误差的影了 响.
浙江大学研究生学位论文用纸 PⅢ 目录.一前言 二.双波发同步检测技术研究 1.同步检测技术及2π模瑚向是 2.双波长同步检测技术 3.低正么式和波了计注 4.误君放大效应及主要误差 5.解决误差放大效应的法 6.波系数据的处理 7.先源的相干性及对免程差的要求.两种波长共用波经的影响 三.测量范围的再扩大一—三液长合城法 四.位相调制生幅误差及校正 1.位相调制步幅误差 2.线性发幅误差校正 五.实验结果及测量节围分析 2.实验装置及结果分析 2.测量范围分析 六结语 —65 八.附录七.致谢 99一 1.m-.n+亦程序 参致文南—67 2.
浙江大学研究生学位论文用纸 P -11(xi,y.Sin2kl 其中w(x,y)是能测表的b形函麦义,R=2 人是调制过推中节学参孜睛光程.N=n×P,n是每同期步数,P为即期数 当多月期调别皆时,就成为典型的の步移相于涉.除干谬方式及处理方式(部份)外,其调别和乎样方式是一主义的.位相空间润制方法 有空间风鉴检肢法和直接付里叶变换频城滤波法？其 本质是相似的,都是用付氏分析的手。以后者为倒,是仗被格 表石产过一定量倾余斗从而引入该相的空间凋别,对改到的于涉 国进乎样,用快速付氏变换法分析数据,取生依阶附在 载步频f(由倾料量决定)上的低步员成份,再经付抵连变条 后求得波了的