[光学显微轮廓仪对比测试及精度分析]

【光学显微轮廓仪对比测试及精度分析】.pdf浙江大学研究生学位论文用纸P 要 光学里微轮而仪利用条放扫描技术实玖对表石微观轻 本仪四使用Mirau干涉仪产生干步条级.用压电陶鉴[错然 酸铅P2T]对干1步条级电行扫描.用256单之线体ccD接收光強 仅多.经7bitsAh转换后送入Ape-卫微机世行处理.ApPle-微机可完成轮而粗粒发参极R.R、R2.Ry.Sm,Sm及抱 仍自相关出极.功年谱出的,这度分布直方图和支季中的计算.本文从仪的的误差分析以及与而同的仪四:融针式轮命仪 微分散射则试仪、干步里微镜的对地则号这而方面入手.详 细讨说了仪的的轮部叫号重复性和以得牲发。并付经了仪 摘 布的方精发,非接触测景。浙江大学研究生学位论文用纸P,Ⅲ 录 三.光学显微轮仪:样品测试及对比分析.目 二.光学显微轮仪:原理及系统结构 四.光学显微轮廓仪:误差分析 六.光学显微轮仪:改进意见 一.概述 五.结论 七.改谢 八.R.Ry(um 第1系列第2系列 0a 6 0 0 0 0 0 0 0 0 5(nm)l(50 1 4(从m)第1系例列第2系列多 0 2 0 0 0 0 0 00 0 00 0° 0 0 60 0 0 2 Ra 0 0 0 0 0 0 表1 0.
———— 文字由OCR识别(未校验)，可能存在错字；请以原始完整版为准。