【光学显微轮廓仪对比测试及精度分析】.pdf

浙江大学研究生学位论文用纸P 要光学里微轮而仪利用条放扫描技术实玖对表石微观轻本仪四使用Mirau干涉仪产生干步条级.用压电陶鉴[错然酸铅P2T]对干1步条级电行扫描.用256单之线体ccD接收光強仅多.经7bitsAh转换后送入Ape-卫微机世行处理.ApPle-微机可完成轮而粗粒发参极R.R、R2.Ry.Sm,Sm及抱仍自相关出极.功年谱出的,这度分布直方图和支季中的计算.本文从仪的的误差分析以及与而同的仪四:融针式轮命仪微分散射则试仪、干步里微镜的对地则号这而方面入手.详细讨说了仪的的轮部叫号重复性和以得牲发。并付经了仪摘布的方精发,非接触测景。

浙江大学研究生学位论文用纸P,Ⅲ 录三.光学显微轮仪:样品测试及对比分析.目二.光学显微轮仪:原理及系统结构四.光学显微轮廓仪:误差分析六.光学显微轮仪:改进意见一.概述五.结论七.改谢八.

R.Ry(um 第1系列第2系列 0a 6 0 0 0 0 0 0 0 0 5(nm)l(50 1 4(从m)第1系例列第2系列多 0 2 0 0 0 0 0 00 0 00 0° 0 0 60 0 0 2 Ra 0 0 0 0 0 0 表1 0.