【聚焦离子束装置的光学系统的计算】.pdf

浙江大学研究生学位论文用纸P 蚕婴本文系统地研究了聚焦离子束装置离子光学系统的特性,提出了对整了系统用电荷密度法模拟系统的方法,兰在研究中没到了如下成果:轴相交的静甲透镜.2.静由多极偏转场获没均与场的普遍条件及能.3.用电荷密度法计算静电多极偏转场,简化汁算矩阵系数的方法.4.多种复合物镜系统的相至关系及 MOL系统的象差系数研究 5.偏转放大器的设汁 6.多极场用一维计算的可行性及其解。

浙江大学研究生学位论文用纸P 目間录第一章绪论「第二章轴对称静电场、轨迹及象差的计算14 2日电荷密度法 2.轨庭和象差的汁算了(第三章静电偏转系统的研究了了 3.静电多极偏转条统的概念了了 3.圆柱坐标系统中电位的普遍展开式了Y 3极ECD也界由位的Fourier展开式及获的最佳偏转场的普遍解40 3.n极ESD边界电位的Fouier展开式及的最佳偏转场的普遍解静电多极场的计算了 3 全静电偏转系统的象差b1 3 第四章静电复合系统的研完78 4.聚焦和偏转场的复数表达式8 4

浙江大学研究生学位论文用纸P 第一章绪论离飞来,就是指从极小区域发射通过透镜系统实现聚焦的离子来。随着半导体器件成化程度的提高,对工艺提出了相应的要求,相应地发展了一象到技术,向聚佳离子来就是其中最引人注目的技己应用于扫指离子是微镜,二次离了质清仪等.由于离了来的持殊性,离了质量比也子大三、四宁数量级,至且具有化学电了结(电离),在与扬质相至作用时,可以提供更为丰富的物质表召信息在微兮析领城和表召物理中是示了重要作用。现仕离子来己经与由子束微分析互为孙充而变成不可或缺的方活。与电了束相似,离了来主要也作为扫描探针进行微分析工作。