【超声波雾化喷涂氧化锡膜的研究】.pdf

浙江大学研究生学位论文用纸,PI 摘女我们采用一种新的薄膜故术一一趣声波穿化涂技术在破端表面上获得了于朵的透吸导电SmO膜,且舒细研究了各沉积口艺冬数对膜光,电姓质的影响,并通过扫描电镜分析了膜性质与其表面形航的关乐,俄歇所借分析得其膜组成为5n0.用超声雾化喷涂划得的携来5m膜不仅具有3 的可见光区透过中(T>90 .入=500.nm) B低的电平(R<20n/),且其化学稳定世很好,与玻鸦附着力强。田畅电可广冷应用子太阳电池反其也究电器件中。

浙江大学研究生学位论文用纸P.Ⅱ 目录:予-一章绪论 1.予二章超声波雾化喷涂 5n:成膜反理 9-1超声波雾化喷涂工作元理 9-2 502透m导电膜成膜克理及导电机理 15.手三率起声波雾化喷涂 5n0薄腰的别备 23-1起声雾化1艺条件基本考虑 23几个关键工艺条件对膜性能影响的初步研究 26雾化喷涂 SnD2 膜 z艺等件最佳化 31-4 SnD2 膜花斑“的形成机理 46-5 SnD,膜光,电性质合分析 53-6 SnD2 膜的微观分析 67.予四章结论季考文献 76.致谢 78.

浙江大学研究生学位论文用纸P 统,才使真空镀膜做为一种光学加21艺用于光学仪器别遗工业,特别是在五十年代以后,由于真空技术空前发展以及无线电技术发展为真空镀膜技术提供了析的莲发派和光进的膜厚监控装置,使真空膜救术出现 3 一了祈局面.然而,假如薄膜技术只局限子光学领域,而没有拓子发展到其他增如电子学苦技术领城,则今天的薄腰技术完全将今是处子另外一种远没如现车一样具有强大发展生命力局面.可以说,也飞是由于薄膜故术电子学古术领越中有广泛的应用前景,得以使今天的薄膜技术所进一步高速发展.我们知道,薄膜的主女作用是赋予镀中幸身所不具有的光学,化学、电学和机械性所。