[超声波雾化喷涂氧化锡膜的研究]

【超声波雾化喷涂氧化锡膜的研究】.pdf浙江大学研究生学位论文用纸,PI 摘女 我们采用一种新的薄膜故术一一趣声波穿化 涂技术在破端表面上获得了于朵的透吸导电SmO膜,且舒细研究了各沉积口艺冬数对膜光,电姓质的影 响,并通过扫描电镜分析了膜性质与其表面形航的 关乐,俄歇所借分析得其膜组成为5n0.用超声雾化喷涂划得的携来5m膜不仅具有3 的可 见光区透过中(T>90 .入=500.nm) B低的电 平(R
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