[波面干涉位相分析理论和绝对检测技术的研究]

【波面干涉位相分析理论和绝对检测技术的研究】.pdf谨以此文献给 二十六年来精心教养我成人的父母浙江大学博土学心文 Interferometric Optical Phase Analysis and Absolute Calibration Techniques(PhB Dissertation) Zhu Yucong Department ofOptical Engineering Zhejiang University.Hangzhou,P.R.CHINA ABSTRACT Modern opticalphase interferometryhas been widelyused inoptical metrology.浙江大学博士学位论文 摘要 现代波面干涉计量技术已广泛应用于光学测量、自适应光学、信息处理及全息术,气体动力学研究等领域,其中包括光学面形 的测量、光学系统波象差测量、气体激光器中气体密度梯度测量 等方面。本论文的研究目标是:以数字激光波面干涉仪绝对检测为依据,建立并验证高 精度的光学平面和光学球面.扩展波面干涉仪的测试功能,将它应用于显微物镜波象 差的实时检测和像质评价.研究开发新的实时波面剪切干涉仪,以满足平场复消色 差显微物镜波象差检测的需要。
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