【波面干涉位相分析理论和绝对检测技术的研究】.pdf
谨以此文献给 二十六年来精心教养我成人的父母
浙江大学博土学心文 Interferometric Optical Phase Analysis and Absolute Calibration Techniques(PhB Dissertation) Zhu Yucong Department ofOptical Engineering Zhejiang University.Hangzhou,P.R.CHINA ABSTRACT Modern opticalphase interferometryhas been widelyused inoptical metrology.
浙江大学博士学位论文 摘要 现代波面干涉计量技术已广泛应用于光学测量、自适应光学、信息处理及全息术,气体动力学研究等领域,其中包括光学面形 的测量、光学系统波象差测量、气体激光器中气体密度梯度测量 等方面。本论文的研究目标是:以数字激光波面干涉仪绝对检测为依据,建立并验证高 精度的光学平面和光学球面.扩展波面干涉仪的测试功能,将它应用于显微物镜波象 差的实时检测和像质评价.研究开发新的实时波面剪切干涉仪,以满足平场复消色 差显微物镜波象差检测的需要。