【以半导体激光器调制光照明和相关检测技术提高动态光电显微镜瞄准精度的研究】.pdf

北京航空学院学位论文用纸第页摘要本文叙述了光电显微镜的发展杞死况,叫较了各种光电显微镜的伏缺点,系统分析了影口向态光电显微镜瞄难精度的误差因素,并且提出了一种新的光电显微镜的计方案,即采用高频电信号信号作同步正弦变化,并在信号处理时采用了相关检测、谐振放大、低噪声电子设计等低染声测量技术有效地抑制了躁声。同时采用了样面透镜等光学之伸将激光束会成很小的条状光斑來照明刻线,使光电接收件获得交大的信,大大提高了信噪吡。实了金表明按此方案研制的单管动态光电显微镜的准精度比原有单管动态光电显微愛的描精度提高了近一倍而它还具有结构简单、体积小、重量轻、无须高压电深、不怕外界杂

北京航空学院学位论文用纸第页目录第一章第二章光电显微镜的发展概既况一.静态光电显微竞二.动态光电显微镜第三章动态光电显微竞的误差分析及提高其蓝难精度白途径第四章光电显微镜的设计一一、设计要求二、总体方案的选择三.光学与电气部件的设计 -45 四、光源调制率的选择第五章实马金结果及其误差分析一、精度实验二、光电显微镜误差分析。

北京航空学院学位论文用纸第2页但是,这并不能满足计量工作的要求。许多精密仅然的精疚仍受胸准精度的影响大。特别是一些方精病的动态计量仪器(如线纹比长仪),其腊往误差在仪然的总误差中占有很大比例]。因此,进一步提方对线瞄准精度仍是迫切需要的。七十年代后期,加拿大国家物理研究院采用激光作光电显微镜光源增加了信与强度,提方了信味比在0了mm/s的拖动速疲下,对准精度可达土oμm。近几年,中国计量科学研究院苦儿家学位联合研制了以激光做光源,用电光效应进行光强调制的光电但是,这西种光电显微镜结构复杂,体积也比大,在很多雨合下不适用,例如对于大量程线纹比长仪来讲,为了减小