[光栅信号微机细分及误差补偿]

【光栅信号微机细分及误差补偿】.pdf摘 要 本文提出一种新的光栅信号微机细分方法并介绍了计算机误差 补偿方法.设计并制成了细分接口硬件电路。开发了细分数高达200的 软件.为了提高精度,用激光干涉仪对误差蓝行测量通过误差分析和 冬种微机误差补偿方法的比较,提出了软件补偿方法.实验结果表明,细分方法是可行的,微机误差补偿是有效的.虽然本方案是基于光栅信号提出的,事实上,它同祥适用于磁 栅,感应同步器、激光干涉仪等.这种方案具有一系列的优点:分辨率高、成本低、结构简单,可靠性好,同自动测试仪器联接方便。lowcost,simplearchitecture,high automatictestsystemo第四章结论 4—1展望结论 4一2致谢》 参考文献.珍浩果88
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