【氮化硅烧结工艺的微机控制】.pdf
浙江大学研究生学位论文用纸P 摘 要 本久简述了微机过性控制的现状如发展 趋梦,对氮化硅烧结过程微机控制条统的设 计思想和其中的更件软件进引了分析,提么一 种掉电数据保护和软体抗干扰的格抱,并讨 论了常用子温废条统的几手控制算法。般后,粉出了条统的现场运到情况。
浙江大学研究生学位论文用纸P．3 目 第一章概述 第二章条统设计思想 92-1设计意头和要求 2-2条统构成 52-3中断结构 第三章 温度信号的检侧及转换 3一1热起偶的冷端补偿 3-2温度仗号A/D转换 3一3温度通道的误差估计 53-4温度线4性化 第四章 D/A转出电路 第五章 条统可靠性措施 §5-1掉电处理 5一2软作防扰措方施 1E §5-3断偶检测 35-4过电疏保护 第六章 控制算法及比较 6一1温度滞后对条统的影响 6-2 P1D算法 6e
浙江大学研究生学位论文用纸P.第一章概述 在今天,微机生生产过程控别中的起的职能,色 格巡回检测及传果的整理与显示,仗忽的处理与数据加 工.控制算法和控别快序的笑施,故障报警及诊断,操作优化,经营管理,生乎调废步。在所应用的形式心大概 分四类:1.采用集策系统[(1] 文们是以微机为基础的单之的细合,下层的细件家 现数字直接控制甘职能,一个操件站“控制3几个回号,一般朱用CRT显示。分个操件站间用位忽数据公路候条,生常雪的奶合,团上位计等机进到监静控制或生婷管理,这种 条统投资较高,多数用了化2,冶全,油过生.2.