【等离子体聚合超薄有机膜工艺研究】.pdf
浙江大学研究生学位论文用纸P.摘要 等离子体骤合有机膜技术是一门具有广阔应用 前景的新兴技术。本文主要淀计、研制了一台既能用 伴磁控等为子体要合成膜又能用伴等离子体蒸发聚 合成膜的专用设备。并进行了磁控等离子体象合有机 硅薄膜口艺过程的研究。用等离子体蒸发聚合的方法 备了全属一有机共聚物CuAA薄膜。上述工作国内尚 未见报导。对等为子体聚合有机硅薄膜之艺的研究及 其应用的初步尝试为等离子体聚合有机膜技术的推 广应用打下了基础。
浙江大学研究生学位论文用纸P 目录.论交捐要(中交) 论文摘要(英文; 第一章言 1等离子体聚合超薄有机膜— 12.等高子体聚合超薄有机膜 国内外研究现状 1.本论交的主要口作一.第二章等为子体聚合超薄有机膜设备的研制 2言-{2上极板高颜馈入与气路设计一 2蒸发装置及总体结构 江磁场的设汁考虑一 2等为3体聚合泛备的主要指标 第三章.等为子体聚合超薄有机膜工艺 3！？系-3.等离子体聚合有机能薄膜与工艺参数的关系也冬数(磁场的存在)对有机不能薄膜 沉和迷平的影响～ 3.
浙江大学研究生学位论文用纸P 第一章、引言 1等离子体象合超薄有机膜 通常把膜厚50.50000A的有机材料薄膜称之为 超薄有机膜。随着现代科学技术的迅猛发展,超薄有 机膜的研究和应用日异广泛.下面仅以分离膜、光刻胶为例予以说明,在当今面 临能源不足、工业废水,废气污染严重而引起人的了泛关注的 牌分为技术中,超薄有机膜就起着举足轻重的峰用。膜分 离技术水平的标志—离系数和透过系数都高幻超薄 有机膜有密切关系。许多科学家已在理论和实验上证实:膜的分为过程需要致密的高分子膜层,使分子收打散方式而 不是对流方式穿过膜,必你证渗透的选择性,但是分离过 程并没有要求很厚的致密层,几十几于A就