[散射板干涉纹实时化的研究]

【散射板干涉纹实时化的研究】.pdf浙江大学研究生学位论文用纸P.ABSTRACT Scatter plate interferometer(SPI)is acommon-path interferometric test system.when testing,nospecial reference opticalelementis needed and theresult canbe obtained as easilyas Twaimansystem.Itis easpecially suitableforthetestingoflarge aperture sphericalcon-cavemirrors,and浙江大学研究生学位论文用纸P.目录 一.前言 二.实时方案的选择 —7 三.散射板干海仪之改通 -18 1.散射板干海仪之理漏分析 2.实测状态下存在的原理泪吾分析 —31 3.形响条纹殖量之诸因素 -38 4.中心热斑及后向散的消除 四.系统硬件的设计 五.下FT法的据雷理技术 —50 1.预露理 —50 2.空间载波频率于。与散斑尺寸大小的选择 —53 3.口径的拓寞 4.加权技术 -59 5.随机声的去除 -61 6.获取波面信息 —63 7.波面连续 —64 8.消除系统误善,浮到被测面形误差w心y)—6的 六.精枝分析 1.系统硬件中各误善因素—68 七.浙江大学研究生学位论文用纸P SR之光(千称总SD光),另一来是直接透遇SR而被 SR教射之光(称为DS先)。艾中SD光带有被测面 面形该差信息,是测量光束。而DS光,因S之区 场很小,可认离子受面形误差形响,是参改光束.放定入射玉教射板SP上白点的一争完线,强 选功后被分离西部分,直接透遇的光线沿日 传播,在即上选列与日完金相同的教射中心A。这條光线在日被教射并形我一光重。在日象 被教射形成光的光线,充药被测面儿之张径,并成露于A离,有接透运8P。因此,上述两光束 形成的干湾受纹将直是地给主被沙而之面形误 善信点。
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